非接触静電容量変位計

概要

当社の非接触静電容量変位計は本体ラックとアンプとプローブにより構成されており、
要求仕様に合わせ自由度の高い最適なシステム構築が可能です。
非接触で測定レンジの±0.03%の高分解能でサブミクロン測定が可能です。
又、静電容量方式のため表面の微細なキズ等による測定エラーが発生せず
安定した測定が個人差なくできます。

測定原理

平行板コンデンサの原理に基づきプローブ面と測定対象物面間で
生ずる静電容量を測定することにより、面積・比誘電率が一定な為、
測定ギャップを求めることができます。
C=K*A/D
静電容量と測定ギャップが反比例するため交流定電流を流すことにより
静電容量分での電圧降下はその測定ギャップに比例します。

標準仕様

➀　測定レンジ　標準品　1000μ
　　　　　　　　純標準品　1000μ～2000μ
➁　分解能　　　測定レンジの±0.03%
➂　直線性　　　フルスケールの±0.1%
➃　出力　　　　アナログ出力(BNC)0～10V　DC
➄　応答性　　　DC～1kHz(-3db)
➅　環境条件　　0～50℃　80%R.H以下

測定条件

➀　測定対象物は導電体であり、GNDが取れる必要があります。
　 (半導体でも可能、一部安定しない場合もありますので、要確認)
➁　測定対象物との間は絶縁物である必要があります。
 　(一般的には空気ですが、油中・真空中での測定も可能)
➂　治具の熱膨張等温度の影響もありますので、マスターとの比較測定が望ましい。

応用分野

➀　ドラムの内外形・真円度・直角度・円筒度・偏心等の自動測定
➁　高精度回転体のランアウト測定
➂　半導体ウェハー・金属シート・アルミホイル等の厚み・うねり測定
➃　精密部品の寸法・倒れ等組立積度測定
➄　金属テープ上の絶縁物のコーティング・油膜の厚み測定
➅　熱・圧力による膨張や歪等の変形測定