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X,Y,θステージ  3軸ステージ
イメージ
【概要】
このステージはX軸、Y軸、θ軸の3方向のリニアサーボアクチュエータを使用して、高速・高精度の位置決めを実現しています。
θ軸ステージ面は、真空吸着の加工が施されています。
ステージユニット内部にコンピュータを搭載しスタンドアローンで位置決めを制御
できる他、RS−232CやLANを経由して上位のコンピュータと接続が可能。
また、タイミング調整用に入出力回路を装備しており、外部機器の接続が容易。
プローバや位置決め装置のステージ部に応用できます。
【仕様】
 

X軸

Y軸

θ軸

移動方向

X、Y、θ軸3方向

移動量 400(mm) 300(mm) 90°
ステージ面    10インチまで対応
分解能 0.5(μm/パルス) 0.5(μm/パルス)   
位置決め精度 10μm 10μm ±20(秒)
繰り返し精度 ±0.5μm ±0.5μm ±5(秒)
移動速度 0.8356(m/s) 0.8356(m/s) 2.5(rps)
耐荷重

50(N)

自重

60kg

2.モータコントローラ
 3軸独立型の高機能コントローラを使用して、独立して3方向のリニアサーボアクチュエータを駆動。
3.入出力部
 このステージユニットは入出力回路を実装しており、外部機器とのタイミング入出力を行ったり、
 電磁弁やスイッチなどを接続して多彩な制御が可能。
【ブロック図】
【コントロールコマンド】
このステージは、ユニット内部に搭載したCPUと上位のコンピュータを、RS-232C通信ポートで接続できます。
簡単なコマンドの送・受信で、上位のコンピュータから原点復帰や移動などのステージ制御や、入出力回路の
外部機器とのタイミング入出力、電磁弁やスイッチの制御ができます。
【外形寸法】
700(W)×700(D)×260(H)
 

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