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SMF-100  表面形状測定システム半導体レーザ方式
【概要】
鉄鋼板の腐食状態の測定や、シリコンウェハー面のそり、うねり測定、  ICチップのバンプ高さ測定など、いろいろな
材質の表面状態を測定し、データを収集します。
【特長】
○レーザスポット径が1μmなので高精度測定が可能です。
○金属からゴムや新素材に至るまでいろいろな材質に対して、測定が可能です。
○入力パラメータはメニューにより設定できますので、操作はいたって簡単です。
○データはグラフ表示され、等高線色分け処理により、視認性を確保しています。
【仕様】
≪本体≫ ≪センサ≫
測定エリア 100×100(mm)
積載可能範囲 100×100×20(mm)
最大積載重量 10Kg(max)
ステージ速度 16mm/sec(max)
ステージ分解能 ±0.001(mm)
ステージ真直度 ±0.0015(mm)(フルストローク)
Z軸調整範囲 0〜20(mm)(手動)
測定ピッチ 0.001〜50(mm)
スムージング処理 ON/OFF切替
本体重量 約60Kg

測定範囲

±50μm/±500μm(切替)

分解能

測定範囲の0.05%

許容傾斜角

±7°(鏡面状態)

許容反射率

2〜100

レーザ

半導体レーザ(780nm)

応答性

150Hz

スポット径 

1μm

作動距離(WD)

2mm

リニアリティ

0.3%以内

             
 

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