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静電接合装置                                 

Si基板とパイレックスガラスを陽極接合方式で張り合わせる装置で
さまざまな形状のセンサーやアクチュエータを作れます。


研究、試作用途に適したコンパクトサイズにより低価格でご提供いたします。









 重ねあわせたSi基板とパイレックスガラスが
 加熱(約400℃)後、ガラス側に数百Vの負電荷を
 印加されると、静電引力により界面で化学結合
 します。
仕様
◆接合基板サイズ : φ2”(φ51mm)〜φ4”(φ100mm)
◆ヒーター  
 ・温度設定範囲 : 0〜450℃(PID制御方式)
 ・温度分布 : ±10℃(φ110mm以内のヒーター面上)
 ・材質 : ステンレス(カートリッジヒータ:3本)
◆直流電源  
 ・電圧調整範囲 : 0V〜1000V
◆ガラス吸着  
 ・到達真空度 : 50Torr
■外形寸法 : 602mm(W)×352mm(D)×272mm(H)(蓋の開き高さ712mm)
■重量 : 約29Kg
■電源 : AC100V、50Hz、20A
■価格 : \1,200,000
  
  
 

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