テクノシステム株式会社

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非接触静電容量センサ
ATS-2001 4チャンネルをワンユニット化。同時測定が可能。
【概要】
非接触センサの中でも優れた安定性を持ち、繰り返し精度においても高い評価の静電容量方式を採用。
独自の技術で高精度(±0.1%の直線性)かつ小型化に成功。また、合わせて低価格をも実現。
【特長】
・プローブは標準で52種類。その他特注で超薄型(厚さ1mm以下) 超極細、平行度用など制作も承っております。
・4chワンユニットなど、小型化を実現。
・RS232Cインターフェースにより、 計測制御のシステムアップが可能。
  (その他のインターフェース開発も承ります。)
・OEMタイプも取り揃え、更にローコスト化を追求。
【静電容量センサとは】
    
   
    
   
    
    
プローブと被測定物が静電容量を形成し、距離Dの変化により
静電容量が変化します。静電容量→電圧変換回路でDに比例
した電圧を出力させて変位を計ります。原理がシンプルであり、
微小な変位を安定に高精度で測定できます。対象物は導体で
あれば材質に関係なく測定できます。プローブはガードリング
方式を使用することで電極面積とほぼ同値の実測面積が得られ
優れた直線性を実現しています。
【応用例】
・半導体製造装置超精密位置決め
・精密シャフトなど回転体のランアウト測定
・ドラムの内外径、真円度、直角度、円筒度、偏心度などの自動測定
※その他、多種多様なシステムに利用可能です。まずはお気軽にご相談下さい。
 

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