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非接触静電容量変位計

ATSシリーズ/TSUシリーズ

概要
当社の非接触静電容量変位計は本体ラックとアンプとプローブにより構成されており
要求仕様に合わせ自由度の高い最適なシステム構築が可能です。
非接触で測定レンジの±0.03%の高分解能でサブミクロン測定が可能です。
又、静電容量方式のため表面の微細なキズ等による測定エラーが発生せず安定した
測定が個人差なくできます。
測定原理
平板コンデンサの原理に基づきプローブ面と測定対象物面間で生ずる静電容量を
測定することにより、面積・比誘電率が一定な為、測定ギャップを求めることができます

                             C=K*A/D

静電容量と測定ギャップが反比例するため交流定電流を流す事により静電容量分での
電圧降下はその測定ギャップに比例します。

標準仕様 測定条件
1 測定レンジ 標準品  1000μ
準標準品 100μ〜2000μ
2 分解能 測定レンジの±0.03%
3 直線性 フルスケールの±0.1%以内
4 出力 アナログ出力(BNC)0〜10V DC
5 応答性 DC〜1kHz(-3dB)
6 環境条件 0〜50℃ 80%R,H以下
1 測定対象物は導電体であり、GNDが取れる必要が
  あります。
 (半導体でも可能、一部安定しない場合もあります
  ので要確認)
2 測定対象物との間は絶縁物である必要があります
 (一般的には空気ですが、油中・真空中での測定も
  可能)
3 治具の熱膨張等温度の影響もありますので、マスター
  との比較測定が望ましい
応用分野
1 ドラムの内外形・真円度・直角度・円筒度・偏心等の自動測定
2 高精度回転体のランアウト測定
3 半導体ウェハー・金属シート・アルミホイル等の厚み・うねり測定
4 精密部品の寸法・倒れ等組立精度測定
5 金属テーブル上の絶縁物のコーティング・油膜の厚み測定
6 熱・圧力による膨張や歪等の変形測定

精密部品の組立精度測定システムの例
1 本体ラック ATSシリーズ
ATS-1004A ATS-2001
&STS-1001
  
TSUシリーズ
&STS-1000
2 標準AMP
  
  
  
STS-1001
3 標準/準標準プローブ
   
       
     
     
     
ATSシリーズ 機能 電源 外形 標準価格(税抜)
ATS-1002A 2ch実装可能 AC100V 約186W×152H×280D \150,000
ATS-1004A 4ch実装可能 AC100V 約258W×152H×280D \160,000
ATS-1007A 7ch実装可能 AC100V 約364W×152H×280D \170,000
ATS-2001 4ch実装可能 AC100V 約320W×80H×240D \750,000
TSUシリーズ(組込みタイプ)
TSU-1002A 2ch実装可能 AC100V 約102W×137H×245D \70,000
TSU-1002D 2ch実装可能 DC24V 約102W×137H×245D \60,000
TSU-1003A 3ch実装可能 AC100V 約137W×137H×245D \80,000
TSU-1003D 3ch実装可能 DC24V 約137W×137H×245D \70,000
実装ユニット
STS-1000 標準AMP \90,000
STS-1001 オセット機能付 \100,000
STS-1005 サミングAMP \60,000
STS-1009 ブランクパネル \6,000
標準プローブ
TSV-1000 レンジ1000μ 10φ×20(L) \50,000
TST-1000 レンジ1000μ 13×100×1(t) \60,000
準標準プローブ
TSH-250 レンジ250μ 6φ×10(L) \70,000
TSH-500 レンジ500μ 12φ×30(L) \70,000
上記 本体+AMP(必要ch数)+プローブ(必要ch数)により構成されます。尚、プローブとAMPは1対で調整されます
標準プローブ外形

TSV-1000  レンジ1000μ

TST-1000 レンジ1000μ



TSH-250 レンジ250μ

TSH-500 レンジ500μ
その他 OEM製品・特注プローブ・及び本製品応用のシステム開発全般もお受けいたします。



OEM特注例  本体+AMP プローブ特注例
 

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