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ATS-2001 非接触静電容量方式変位計

【概要】
変位、振動、厚さ等の物理量を非接触のプローブにより検出し、それを電気量に変換して、もとの物理量を正確に
知る測定器を非接触式変位計と呼んでいます。  完全非接触で検出を行う為、測定対象物に影響を与えることなく
確度の高い測定値を得る事ができます。ATS-2001は、その中でも卓越した安定性と汎用性をもつ、静電容  
量方式を採用し、独自の技術で高精度かつ小型化に成功。
4チャンネルをワンユニット化し、同時測定を可能にしました。                       
【特長】
●4チャンネル同時に測定及び表示が可能。
●デジタル表示はμm/V切替機能付き。
●オフセットIN/OUT切替機能で任意の距離を0V設定可能。
●測定レンジの0.03%相当の分解能とフルスケールの±0.1%以内の直線性。
●NEAR・FAR警告LED表示付きで、プローブセッティングが容易に扱えます。
●アナログ出力ポートを前面に配置。高度な信号処理を行うことができます。
●ガードリング方式のプローブにより、フルレンジで安定した測定が行えます。
プローブ形状、サイズも豊富。特注プローブも制作いたします。
【仕様】
表示 4.1/2桁デジタルμm/V(切替機能付)
測定レンジ 50μm〜1000μm(レンジ選択)
分解能 測定レンジの 0.03%
直線性 フルスケールの ±0.1%以内
出力 0〜10V DC
周波数応答性 DC〜1KHz(-3db)
電源 AC100V ±10% 50/60Hz
環境条件 0〜50℃,80% R・H以下
寸法(mm) 320(W)×80(H)×240(D)
(ハンドル部含まず)
注)測定レンジは使用プローブにより異なります。
厚さ計としてのご使用例。
変位計のプローブを被測定物の両側に既知の距離Cで固定しA,Bを
測定すれば、厚さtは次のように求められます。
T=C−(A+B)

回転体の軸ぶれ。面ぶれ、真円度、振動測定。
精密モータ、ハードディスク、コンパクトディスク等

平板材の厚さ、平面度、そり、表面粗さ測定。
シリコンウエハ、各種ディスク、シート材等

精密位置決め。
半導体製造装置、精密機械加工装置等

※本仕様は改良の為予告なく変更する場合がありますので、
 予めご了承下さい。

 

 

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